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光伏电池

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核心部件

dlp 光机（光引擎） uv-ld/led光源高精密光学镜头高精光学系统定制

最大基板：630x730mm

解析l/s：6/6μm

对准：±3.5µm

产能：1.4片/分钟@90mj

最大基板：630x730mm

解析l/s：8/8μm

对准：±5µm

产能：3面/分钟@90mj

（单次曝光长1200mm，

可多次拼接曝光）

幅宽：250/520mm

解析l/s：25/25μm

对准：±10µm

产能：5米/分钟@50mj

幅宽：250/520mm

解析l/s：12/12μm

对准：±6µm

产能：1.3米/分钟@50mj

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